項(xiàng)目名稱：（略）
公告開始日期（略）:21:55公告截止日期（略）:00:00
采購(gòu)單位：（略）
簽約時(shí)間要求發(fā)布競(jìng)價(jià)結(jié)果后7天內(nèi)簽訂合同到貨時(shí)間要求合同簽訂后30天內(nèi)送達(dá)
預(yù)算總價(jià)*****幣種人民幣
收貨地（略）（略）****
供應(yīng)商資質(zhì)要求無
采購(gòu)清單1
采購(gòu)商品采購(gòu)數(shù)量計(jì)量單位：（略）
高真空磁控濺射鍍膜設(shè)備1.00套無
品牌微納真空
（略）VJC-300
預(yù)算單價(jià)*****
規(guī)格參數(shù)規(guī)格參數(shù)信息盡量詳細(xì)：1)真空腔室：304不銹鋼，L×W×H：330×330×400mm（精確尺寸以設(shè)計(jì)為準(zhǔn)）；前后雙開門，真空室內(nèi)表面拋光至鏡面，配一套防污鏡面隔板；2)（略）：復(fù)合分子泵（抽速：700L/s）+直聯(lián)旋片泵（抽速：9L/s）組成的大抽速、（略），超高真空電動(dòng)閘板閥；全量程數(shù)顯復(fù)合真空計(jì)；3)真空極限：≤5.0×10-5Pa（3.8×10-7Torr）；4)抽速：從大氣抽至10-4Pa≤20min；5)基片臺(tái)：抽屜式結(jié)構(gòu)，最大可鍍4英寸（Φ100mm）1片或者均布其它規(guī)格小片；基片臺(tái)旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速0～25rpm連續(xù)可調(diào)，光控定位；基片臺(tái)襯底加熱：室溫～600℃可調(diào)可控；基片臺(tái)負(fù)偏壓：-800V；6)濺射靶：3只2inch圓形平面靶，可單靶輪流/多靶聚焦共濺射；7)濺射電源：1臺(tái)1000VA直流濺射電源；2臺(tái)300VA射頻電源，頻率13.56MHz，自動(dòng)匹配；8)速率和膜厚監(jiān)控：采用膜厚監(jiān)控儀，鍍膜過程中實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)濺射速率，監(jiān)控膜厚；厚度監(jiān)測(cè)范圍1?～9999?，分辨率1?；速率監(jiān)測(cè)范圍0.1?～9999.9?/s，分辨率0.1?；9)（略）：三路工藝氣體MFC控制，量程范圍為0～50SCCM\\0～30SCCM\\0～30SCCM；10)（略）：水冷部件有分子泵、濺射靶及旋轉(zhuǎn)密封磁流體；配高精度冷卻循環(huán)水機(jī)1臺(tái)；11)控制方式：（略）
售后服務(wù)1)產(chǎn)品質(zhì)保期為2年；質(zhì)保期內(nèi)設(shè)備的維修免費(fèi)（人為損壞因素除外）。2)本公司在接到故障通知2小時(shí)內(nèi)給予解答；對(duì)于設(shè)備故障，公司在接到故障通知后48小時(shí)內(nèi)到達(dá)現(xiàn)場(chǎng)。
我要報(bào)價(jià)
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