為便于供應商及時了解政府采購信息，根據(jù)《財政部關于開展政府采購意向公開工作的通知》（財庫〔2020〕10號）等有關規(guī)定，現(xiàn)將南京大學2024年政府采購意向公開（第33批）政府采購意向公開如下：
（略）采購項目名稱：（略）
1（略）（略）A（略）真（略）一套，（略）、（略）組成。主要參數(shù)需求如下：一、超高真空磁控濺射：1.樣品尺寸：4英寸；2.濺射腔室極限真空：10-8Pa量級；3.濺射腔室正面設有鉸鏈DN300手動快開門，雙密封結構；4.樣品臺加熱溫度：800℃，靶基距調節(jié)范圍100mm，樣品臺旋轉0-20rpm；5.靶槍及電源：2個2英寸超高真空靶槍，1個直流電源和1個射頻電源；6.工藝氣體：3路氣體進氣，氬氣，氧氣，氮氣；配有工藝穩(wěn)壓模塊；7.膜厚均勻性優(yōu)于±5%。二、（略）：1.樣品尺寸：4英寸；2.（略）極限真空：10-6Pa量級；3.水冷樣品臺：4英寸樣品，樣品臺旋轉0-10rpm連續(xù)可調；偏擺角度可調0-50°（不破真空且樣品臺旋轉連續(xù)旋轉時）；生長距離調節(jié)范圍50mm（生長距離550mm）；4.電子束蒸發(fā)源：電子束蒸發(fā)源6x4cc，電源功率5kW；5.膜厚均勻性優(yōu)于±5%。三、（略）：1.（略）（略）對接；2.（略）極限真空：10-5Pa量級；3.可以實現(xiàn)5個4英寸樣品的儲存及快速進樣。儀器質保期需求：12個月。（略）年11月
2南京大學浦口、鼓（略）校區(qū)的通勤班車服務（寒暑假、節(jié)假日除外）（略）年11月
本次公開的采購意向是本單位：（略）
南京大學招標辦公室
2024年10月12日